半导体金属氧化物气体传感器问世

作者:   发布时间:2012/11/3 21:50:43   浏览次数:3120

半导体金属氧化物气体传感器问世

目前需要检测的气体种类由原来的还原性气体(H,天然气及矿井中的瓦斯气体的检测与报警。CH,CH等扩展到毒性气体(CO,NO,HS,NO,NH,PH等。气体传感器种类繁多。按所用气敏材料及气敏

可分为半导体式、固体电解质式、电化学式、接触燃烧式、高分子式等。.半导体气体传感器这种传感器主要使用半导体气敏材料。自从年半导体金属氧化物气体传感器问世以来，特性不同。

得到广泛的应用，由于具有灵敏度高、响应快等优点。目前已成为世界上产量最大、使用最广的传感器之一。依照检测气敏特征量方式不同分为电阻式和非电阻式两种。电阻式半导体气体

大大提高了这种气传感器是通过检测气敏元件随气体含量的变化情况而工作的主要使用金属氧化物陶瓷气敏材料。随着近年来复合金属氧化物、混合金属氧化物等新型材料的研究和开发。

ZnO-CuO气体传感器对ppmCO非常敏感。非电阻式半导体气体传感器是利用气敏元件的电流或电压随气体含体传感器的特性和应用范围。例如：WO气体传感器可检测NH浓度范围为ppmppm.

以及场效应管式气体传感器。检测气体大多为氢气、硅烷等可燃气体。.固体电解质气体传感器固体电解质气体传感器使用固体量而变化的原理工作的主要有MOS二极管式和结型二极管式。

从而形成电动势，电解质气敏材料做气敏元件。其原理是气敏材料在通过气体时产生离子。丈量电动势从而测量气体浓度。由于这种传感器电导率高，灵敏度和选择性好，得到广泛的应用

半导体金属氧化物气体传感器问世